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MX 6 Rウエハ半導体検査顕微鏡
MX 6 R列ウェハ半導体検査顕微鏡の各操作は人間工学に基づいて設計され、操作者の使用疲労を軽減する。そのモジュール化された部品設計は、システム機能を自由に組み合わせることができる。明場、暗場、斜め照明、偏光、DIC微分干渉などの多種の観察機能をカバーし、実際の応用に基づいて、機能選択を行うことがで
製品の詳細
広視野ヒンジ式三眼観察筒
正像ヒンジの三眼観察筒は、結像方位が物体の実際の方向と同じであり、物体の移動方向が像面の移動方向と同じであり、観察と操作が容易である.
大移動プラットフォーム設計
6インチフラットプラットフォーム設計を採用し、ストローク158×158 mmで、対応するサイズのウエハやFPD検出に適し、小サイズサンプルのアレイ検出にも使用できる。
高精度対物レンズ変換器
コンバータは精密軸受設計を採用し、回転手触りが軽く快適で、繰り返し位置決め精度が高く、対物レンズ変換後の同心度も良好な制御を得ている。
堅牢なラック構造設計
工業検査級顕微鏡体、低重心、高剛性、高安定性金属フレーム、システムの耐震能力とイメージング安定性を保証した。
その前置低手位粗微調整同軸焦点調整機構は、100-240 V幅電圧変圧器を内蔵し、異なる地域の電力網電圧に適応できる。シャーシ内部には風循環放熱システムが設計されており、長時間使用してもラックが過熱することはありません。
MX6R半導体検査顕微鏡の構成パラメータ
モデル |
MX6R |
MX6RT |
選択可能な観察方法 |
明視野/暗視野/偏光/DIC |
明視野/暗視野/偏光/DIC/透過光 |
光学系 |
無限遠色差補正光学系 |
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接眼レンズ |
PL 10 X/22平場高眼点接眼レンズ |
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対物レンズ |
LMPL−BD無限遠長動作距離明暗場金相対物レンズ |
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かんそくとう |
正像観察筒、25°ヒンジ式三目、分光比、両目：三目＝100：0または0：100 |
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コンバータ |
DICスロット付き5穴内傾斜式暗視野コンバータ |
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5穴内傾斜式明暗場変換器 | ||
ステージ |
6”三層機械移動プラットフォーム、ストローク158 x 158 mm、ガラステーブル、右手位置X、Y移動ハンドル、クラッチハンドル付き、高速移動可能 |
6”三層機械移動プラットフォーム、反射ストローク158 x 158 mm、透過ストローク：100 x 100 mm、ガラステーブル、右手位置X、Y移動ハンドル、クラッチハンドル付き、高速移動可能 |
けんびきょうたい |
粗微調整同軸、粗調整ストローク33 mm、微調整精度0.001 mm、、粗調整機構上限位及び締付け調整装置付き。90-240 V幅電圧トランスを内蔵し、単回路電源出力 |
粗微調整同軸、粗調整ストローク33 mm、微調整精度0.001 mm、、粗調整機構上限位及び締付け調整装置付き。90-240 V幅電圧トランスを内蔵し、2ウェイ電源出力 |
反射照明器システム |
可変視野絞りと開口絞りがあり、いずれも中心を調整することができる。カラーフィルタ付きスロットと偏光装置スロット、斜め照明切換レバー付き、12 V 100 Wハロゲンランプ、光強度連続調整可能 |
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とうかしょうめいシステム |
/ |
単一の大出力5 W LED、白色、光強度は連続的に調整可能。N..A.0.5集光レンズ、可変開口絞り付き |
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